产品型号

FILMTHICK-C50-Mapping

光学原理

反射式光谱干涉法（白光干涉），非接触、无损测量

光谱范围

380nm - 1100nm（可见光至近红外）

光源

机械结构集成的进口长寿命卤钨灯光源，寿命超过 3000 小时

测量光斑大小

1.5mm（标准配置，可按样品需求选配）

膜厚测量范围

15nm - 70μm

膜厚重复性精度

0.2nm（100nm SiO₂/Si 标准样品 100 次测量取最大值）

膜厚绝对精度

0.2% 或 2nm（取两者较大者） 

膜厚稳定性

优于 0.05nm

可测参数

膜厚 d、反射率光谱 R(λ)、颜色、折射率 n、消光系数 k

反射率模拟

支持不同膜层结构建模与镀膜系统反射率曲线模拟

算法模型

FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法，支持多层膜逐层拟合

单点测量时间

小于 0.5 秒

Mapping 扫描速度

5 点位 / 5 秒；25 点位 / 14 秒；57 点位 / 30 秒

样品台形式

R-Theta 极坐标自动移动平台（径向 + 旋转双自由度）

移动范围

不小于 200mm × 200mm，可扩展至 300mm × 300mm

支持样品尺寸

2 英寸 / 4 英寸 / 6 英寸 / 8 英寸 / 12 英寸晶圆

手动操作移动重复性

±0.2mm（100nm SiO₂/Si 样品 100 次测量取最大值）

支持扫描路径

圆 / 矩形 / 方形 / 放射状 / 中心或边缘去除 / 4 定点 / 用户自定义

软件

OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件（Mapping量圆测绘版），Windows 10 / 11 64 位；内置开放式材料折射率数据库

用户权限

Manager / Operator / Controller 三级权限管理

数据导出

CSV / Excel / XML 及二维、三维图形文件

系统集成

支持与上位 MES / SPC 系统对接（接口按项目开放）

工作环境

温度 18-28℃，湿度 <80% 无结露；AC 220V±10%，50Hz

样品与膜层

实测厚度

应用领域

SiO₂（二氧化硅）

2108nm

光学镀膜与钝化层

ITO（氧化铟锡）

36nm

触摸屏与智能窗

派瑞林（Parylene）

2490nm

医用植入物保护层

微透镜涂层

3012nm

光学元件

波长范围

380nm - 1700nm（VIS 与 NIR 双探测器，数据无缝拼接）

膜厚测量范围

10μm - 250μm（常规膜层，中厚膜优先）

膜厚重复性

≤0.02nm

膜厚绝对精度

≤0.2% 或 2nm（取两者较大者）

平台形式

XY 直角坐标双轴精密位移平台（伺服 + 滚珠丝杠 + 光栅尺闭环）

有效行程

300mm × 300mm，可扩展至 400mm × 400mm

定位精度

≤ ±5μm

重复定位精度

≤ ±2μm

最小步进量

1μm

移动速度

0 - 200mm/s

点位容量

单次 Recipe 支持 200 个点位以上

点位编排

矩阵自动生成 / 坐标手工输入 / 鼠标点选 / CSV与 Excel 点位表导入

整机形态

落地式一体化钢制机柜，约 600mm × 750mm × 1500mm

安全配置

前门观察窗 + 门控安全联锁 + 急停按钮，符合 IEC 60825-1

主机（含自研高精度光谱仪与光路）

1 台

进口长寿命卤钨灯光源

1 套

测量软件（预装授权，三级权限管理）

1 套

SiO₂/Si 标准校准样片

1 套

中文操作说明书、软件手册与校准证书

1 套

常用工具包与备用耗材

1 套

远程诊断与在线升级模块

1 套

运输包装箱

1 套

安装与培训

提供在线远程培训与上门安装服务，安装完成后进行操作培训，涵盖仪器操作、软件使用、测量方法与数据分析

保修期限

自购买之日起一年免费保修，保修期内质量问题免费维修并更换故障部件；质保期外提供终身成本价维护

响应时效

工作日 8 小时内响应；紧急情况 4 小时内首次响应

上门时效

广州及周边 24 小时内上门，华南 48 小时内，全国主要省会城市 72 小时内到达现场

备件支持

故障件 7 个工作日内提供解决方案，常用耗材与易损件本地仓储备货

校准与计量

提供国家计量院或第三方可追溯校准证书（CNAS可选）

打样测试

合同签订前可安排实际样品免费打样测试，出具实测评估系数与重复性数据

软件升级

仪器使用寿命内免费升级（同机型）；提供远程诊断与在线升级模块