显微系列
显微膜厚仪·微区与图形化样品
显微成像系统·亚微米级定位·可观测微米级薄膜结构·微区与图形化样品

 

产品简介
FILMTHICK-C40 显微系列，面向图形化晶圆、微区器件、光学元件等小区域与图形化样品的膜厚测量。设备采用反射式光谱干涉测厚原理，机械结构集成进口长寿命卤钨灯光源，配合自研高精度光谱仪与 FFT 傅里叶法、极值法、拟合法三大反演算法，对样品实现非接触、无损、高精度测量，覆盖单层及多层薄膜厚度、折射率 n、消光系数 k、反射率与颜色等参数。采用立式显微光路结构与显微成像系统，可直接观测微米级薄膜结构，把测量区域的观察与膜厚反演合并在同一光路中完成，蓝色刻度定位精度可达亚微米级。
配套 OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件内置类型丰富、开放式的材料折射率数据库，测量期间可实时显示干涉、FFT 波谱和膜厚趋势，协助用户完成测试分析。硬件采用模块化设计，核心部件可独立更换，便于后续功能扩展，并支持与 C10 平台共用波段档位体系选配。

 

核心卖点
显微成像系统：可直接观测微米级薄膜结构，测量区域可视化，便于对位、判读与结果复核；
亚微米级定位：蓝色刻度定位精度可达亚微米级，适合图形化样品与微区器件的精确落点；
立式结构设计：立式显微光路与承载结构，便于微区样品的对位、观察与重复定位；
微区与图形化样品：面向图形化晶圆、微区器件、光学元件等小区域膜厚测量，弥补常规台面机型光斑偏大的局限；
波段可选：与 C10 平台共用波段档位体系，可选 190-1100nm / 190-1700nm / 380-1100nm / 380-1700nm 等配置；
与 C10 平台同源：共用 FFT / 极值 / 拟合三算法与 OPTICAFILMTEST 测量软件，内置开放式材料折射率数据库，配方与数据格式互通。

 

核心技术参数（标准配置指标）

光学原理	反射式光谱干涉法，非接触、无损测量
结构形式	立式显微光路结构，含显微成像系统
定位方式	蓝色刻度定位，定位精度可达亚微米级
样品适配	图形化晶圆、微区器件、光学元件等小区域与图形化样品
波段配置	与 C10 平台共用档位体系，380-1100nm（基础）等其他波段可选
光源	机械结构集成的进口长寿命卤钨灯光源，寿命≥10,000小时
算法模型	FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法；支持多层膜逐层拟合
可测参数	膜厚 d、反射率光谱 R(λ)、颜色、折射率 n、消光系数 k
软件	OPTICAFILMTEST 光学膜厚测量软件，Windows 10 / 11 64 位；内置开放式材料折射率数据库，支持 CSV / Excel / XML / PDF 报告导出
工作环境	温度 18-28℃，湿度 <80% 无结露；AC 220V±10%，50Hz

 

型号	UV	UVX	基础款	NIRX	NIR
波长范围	190-1100nm	190-1700nm	380-1100nm	380-1700nm	950-1700nm
光源	氘灯+卤钨灯		卤钨灯
厚度范围	1nm-40um	1nm-250um	10nm-100um	10um-250um	100um-250um
精度	0.02nm	0.02nm	0.02nm	0.02nm	0.1nm

*本技术规格最终解释权归生产厂家所有

 

显微测量要点  （小区域与图形化样品的测量能力）

微区定位	蓝色刻度定位精度可达亚微米级，配合显微成像系统完成微小区域的精确落点
观察与测量同光路	显微成像系统可直接观测微米级薄膜结构，测量区域可视化，便于对位与结果复核
波段选择	与 C10 平台共用波段档位体系，按膜层与基底匹配选配 380-1100nm 等波段
样品适配	图形化晶圆、微区器件、光学元件等小区域与图形化样品

 

适用行业与应用场景

图形化晶圆与微区器件

光学元件与滤光片

钙钛矿与量子点薄膜

光刻胶与介质膜

显示面板微区膜层

高校科研与新材料表征

 

典型膜层实测数据

样品与膜层	实测厚度	应用领域
钙钛矿（Perovskite）	16.7nm	钙钛矿太阳能电池
量子点（QD）	34.3nm	QLED 显示
光刻胶	72nm	半导体光刻工艺
微透镜涂层	3012nm	光学元件

*本系列详细技术参数与显微光路规格以最新规格书为准。上表实测数据来自实际客户样品测量记录，具体样品可行性以寄样实测结果为准。

 

标准配置

主机（含自研高精度光谱仪与光路）	1 台
进口长寿命卤钨灯光源	1 套
测量软件（预装授权，三级权限管理）	1 套
SiO₂/Si 标准校准样片	1 套
中文操作说明书、软件手册与校准证书	1 套
常用工具包与备用耗材	1 套
远程诊断与在线升级模块	1 套
运输包装箱	1 套

 

服务承诺

安装与培训	提供在线远程培训与上门安装服务，安装完成后进行操作培训，涵盖仪器操作、软件使用、测量方法与数据分析
保修期限	自购买之日起一年免费保修，保修期内质量问题免费维修并更换故障部件；质保期外提供终身成本价维护
响应时效	工作日 8 小时内响应；紧急情况 4 小时内首次响应
上门时效	广州及周边 24 小时内上门，华南 48 小时内，全国主要省会城市 72 小时内到达现场
备件支持	故障件 7 个工作日内提供解决方案，常用耗材与易损件本地仓储备货
校准与计量	提供国家计量院或第三方可追溯校准证书（CNAS可选）
打样测试	合同签订前可安排实际样品免费打样测试，出具实测评估系数与重复性数据
软件升级	仪器使用寿命内免费升级（同机型）；提供远程诊断与在线升级模块

 

为什么选择景颐光电？
自主研发
膜厚反演算法（FFT 傅里叶法、极值法、曲线拟合法）与OPTICAFILMTEST 测量软件均为我司自主研发；光谱采集模块采用自研高精度光谱仪；

 

国家高新技术企业
公司成立于 2013 年，国家高新技术企业、专精特新企业、科技创新小巨人企业；与清华大学、北京大学等高校及研究院长期合作；

 

本地化服务
广州总部直服全国，提供在线远程培训、上门安装、远程故障诊断与备件速发；服务链路短于进口品牌经代理的间接模式；

 

可打样验证
合同签订前可安排实际样品免费打样测试，出具实测评估系数与重复性数据，作为配置确认与验收依据。

 

 

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电话： 400-1800-685

邮箱：info@gzjygd.com